本发明涉及微纳器件制造领域，具体为一种全固态平面非对称微型超级电容器及其制备方法。该全固态平面非对称微型超级电容器主要包括以下几部分：柔性基底，沉积于基底上的图案化非金属集流体和电极材料，固态电解液。本发明的有益效果是：采用高电容电极材料，既保留了超级电容器的高的功率密度的优势，又提高了超级电容器的工作电压，进而提高了能量密度。该技术具有工艺简单、加工成本低、效率高、可大规模生产的优点，可广泛的应用于微机电系统、微型机器人、植入式医疗设备等微纳器件领域，为微纳电子设备的发展奠定了基础。